(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

Transkript

1 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H0B 6/24 (06.01) B22D 27/04 (06.01) CB 11/00 (06.01) CB 29/06 (06.01) CB 3/00 (06.01) F27B 14/14 (06.01) H0B 6/36 (06.01) H0B 6/44 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets publisering av det meddelte patentet (86) Europeisk søknadsnr (86) Europeisk innleveringsdag.. (87) Den europeiske søknadens Publiseringsdato () Prioritet , IT, TO (84) Utpekte stater AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (73) Innehaver Saet S.p.A., Via Torino 213, 040 Leini, IT-Italia (72) Oppfinner DUGHIERO, Fabrizio, Piazza Incoronata 11, I-28 Piove Di Sacco, Italia FORZAN, Michele, Via Polesine 2c, I-3142 Padova, Italia CISCATO, Dario, Via Fogazzaro 2, I- Gazzo, Italia CESANO, Mariolino, Via Viancino 2b, I-147 San Germano Vercellese, Italia CRIVELLO, Fabrizio, Via castellamonte 9Frazione Silva, I-0 San Martino Canavese, Italia BECHINI, Roberto, Via San Giovanni Bosco 8, I-080 San Benigno Canavese, Italia (74) Fullmektig Zacco Norway AS, Postboks 03 Vika, 012 OSLO, Norge (4) Benevnelse INNRETNING FOR Å OPPNÅ ET MULTIKRYSTALLINSK HALVLEDERMATERIALE, SÆRLIG SILISIUM, OG FREMGANGSMÅTE FOR Å STYRE TEMPERATUREN DERI (6) Anførte publikasjoner FR-A WO-A1-98/018

2 1 INNRETNING FOR Å OPPNÅ ET MULTIKRYSTALLINSK HALVLEDERMATERIALE, SÆRLIG SILISIUM, OG FREMGANGSMÅTE FOR Å STYRE TEMPERATUREN DERI TEKNISK OMRÅDE Den foreliggende oppfinnelsen vedrører en innretning for å oppnå et multikrystallinsk halvledermateriale, særlig silisium, ved smelting av halvledermaterialet og påfølgende retningsorientert størkning derav, samt en fremgangsmåte for å oppnå en bedre styring av halvledermaterialets temperatur. BAKGRUNNSTEKNIKK 1 Etterspørselen etter halvledermateriale, særlig silisium, med en høy renhetsgrad, kalt "solar renhet", vokser siden dette materialet brukes i produksjonen av høyeffektive fotoelektriske celler. 2 3 For å oppnå et slikt materiale gjennomføres det først foredlinger ved hjelp av tradisjonelle metallurgiske prosesser, og til slutt dannes det en ingot fra hvilken det så kan skjæres waferne som trengs til produksjonen av de fotoelektriske cellene. Ingoten dannes med en metodologi som er kjent som "retningsorientert størkningssystem" ("Directional Solidification System", DSS), ved å smelte halvledermaterialet i en digel og så å fremkalle en retningsorientert størkning av dette, der det til slutt oppnås multikrystallinsk silisium. For å oppnå den retningsorienterte størkningen er det nødvendig å bringe tilveie størkningen i digelen ved å opprettholde en vertikal termisk gradient i ingoten som dannes, for å oppnå en kjølingsrate slik at det oppnås fremskridning av størkningsfronten med en rate på 1 2 cm/h. En fordel med denne teknologien er at urenheter som finnes i utgangsmaterialet, foretrukket forblir i det smeltede materialet og stiger som følge oppover sammen med størkningsfronten. Etter at ingoten er størknet, er det følgelig tilstrekkelig å fjerne kun den øverste delen av selve ingoten for å oppnå foredlet multikrystallinsk silisium med den ønskede renhetsgraden.

3 2 For å oppnå dette resultatet er det nødvendig å være i stand til å utøve en veldig nøyaktig styring av de termiske strømmene. Dessuten krever trinnet med å smelte det faste halvledermaterialet som skal foredles, lang tid og høye nivåer av energiforbruk. BESKRIVELSE AV OPPFINNELSEN 1 Målet med den foreliggende oppfinnelsen er å overvinne ulempene ved teknikkens stand ved å tilveiebringe en innretning dannet av et halvledermateriale, typisk multikrystallinsk silisium med "solar" renhetsgrad, samt en fremgangsmåte for å styre dets temperatur som er enkelt og billig å implementere, som muliggjør en pålitelig og virksom styring av de termiske strømmene, og som muliggjør reduksjon av de samlede dimensjonene og energiforbruksnivåene av det nødvendige utstyret. Her og i det følgende menes det med "solar" renhetsgrad renhetsgraden som er nødvendig for å produsere høyeffektive fotoelektriske celler. 2 3 Den foreliggende oppfinnelsen vedrører dermed en innretning for smelting og påfølgende retningsorientert størkning av et halvledermateriale, typisk for å oppnå multikrystallinsk silisium med solar renhetsgrad, ifølge krav 1 og en fremgangsmåte for å utføre styring av temperaturen i en foredlingsprosess for et halvledermateriale der halvledermaterialet smeltes og deretter underkastes retningsorientert størkning, ifølge krav 9. Innretningen ifølge oppfinnelsen omfatter særlig: minst en digel for halvledermaterialet, foretrukket dannet av kvarts- eller kerammateriale, uttagbart anbrakt i en skålformet grafittbeholder; et fluidtett hus som eventuelt kan åpnes, der grafittbeholderen er anbrakt i dets indre; en eller flere toppinduksjonsspoler, der induksjonsspolene er plassert vendt mot, under mellomplassering av en grafittplate, en munning av grafittbeholderen; en eller flere sideinduksjonsspoler anordnet rundt en sidevegg av grafittbeholderen; en eller flere bunninduksjonsspoler plassert vendt mot en bunnvegg av grafittbeholderen; elektriske vekselstrømforsyningsmiddel for å forsyne induksjonsspolene separat og uavhengig av hverandre; og kjølingsmiddel for å tilføre et kjølemiddel inne i respektive hule vindinger av induksjonsspolene.

4 3 1 Ifølge ett aspekt ved oppfinnelsen omfatter bunnblokken med induksjonsspoler en flerhet viklinger anordnet ved siden av hverandre og i samme liggeplan definert av en isolert bærerplate, og elektriske brytermiddel er forhåndsanordnet mellom viklingene til bunninduksjonsspolen og det respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddelet for selektivt å forbinde viklingene med hverandre i henhold til ulike konfigurasjoner som er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av den elektriske strømmen i de respektive viklingene plassert ved siden av hverandre. Følgelig, ifølge fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen, utføres smeltetrinnet ved å varme opp halvledermaterialet som er inneholdt i en digel, ved hjelp av grafittsuseptorer (eng. graphite susceptors) som hver er operativt tilknyttet minst en respektiv induksjonsspole og er anordnet for å omgi digelen, og det utføres de følgende trinnene for å oppnå den ønskede styringen av temperaturen: 2 å plassere under digelen en suseptor som er operativt tilknyttet minst en bunninduksjonsspole som omfatter en flerhet av viklinger anordnet ved siden av hverandre i et og samme liggeplan; og å selektivt forbinde viklingene med hverandre og med respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddel for forsyning av bunninduksjonsspolen i henhold til ulike konfigurasjoner som er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av de elektriske strømmene i de respektive viklingene plassert ved siden av hverandre. På denne måten er det ekstremt enkelt mulig, og på en måte som kan implementeres flere ganger i løpet av en og samme prosess, å variere varmen som bunngrafittsuseptoren tilfører digelen, uten å endre vesentlig andre av innretningens, og særlig av induksjonsspolenes, driftsparametere. 3 Foretrukket er bunninduksjonsspolen dessuten bevegelig slik at dens avstand fra suseptoren som er tilknyttet den, kan varieres både under trinnet med smelting og under trinnet med størkning. Særlig under sistnevnte er bunninduksjonsspolen deaktivert og brakt i kontakt med suseptoren, mens dens vindinger fortsatt forsynes med et kjølemiddel for å fjerne varmen tilstede i suseptoren direkte.

5 KORT BESKRIVELSE AV TEGNINGENE 4 Ytterligere karakteristiske trekk og fordeler ved oppfinnelsen vil tydelig fremkomme av den følgende beskrivelsen av et ikke-begrensende utførelseseksempel derav, som er anskueliggjort kun som eksempel med henvisning til figurene i de medfølgende tegningene, hvori: 1 Figur 1 viser et skjematisk oppriss, gjennomskåret parallelt med den vertikale symmetriaksen, av en innretning for smelting og påfølgende retningsorientert størkning av et halvledermateriale, som er dannet ifølge oppfinnelsen, der kun halvparten av innretningen er vist, og den fjernede delen er symmetrisk; Figur 2 viser i forstørret målestokk et perspektivisk riss, tre fjerdedeler ovenfra, av en bunninduksjonsspole til innretningen i figur 1; og Figur 3 og 4 er respektive skjematiske fremstillinger av tre ulike mulige driftskonfigurasjoner for induksjonsspolen i figur 2 og de resulterende temperaturfordelingene i en grafittplatte plassert mellom induksjonsspolen og en digel inneholdende halvledermaterialet som skal varmes opp. BESTE MÅTE Å UTFØRE OPPFINNELSEN PÅ Med henvisning til figur 1 og 2 er en innretning for smelting og påfølgende retningsorientert størkning av et halvledermateriale, typisk for å oppnå multikrystallinsk silisium med "solar" renhetsgrad, angitt i sin helhet ved 1. 2 Innretningen 1 omfatter: minst en digel 3 for halvledermaterialet 2, foretrukket dannet av kvarts- eller kerammateriale, uttagbart anbrakt i en skålformet grafittbeholder 4; og et fluidtett hus der grafittbeholderen 4 er anbrakt i dets indre, og som er avgrenset av en bunnhalvskål 6 og en topphalvskål 7 som begge er skålformet; de sistnevnte, som foretrukket er dannet av stål, er vanligvis koblet sammen oppå hverandre (figur 1) med sine konkavitetene vendt mot hverandre og med respektive kanter 8, 9 som er utstyrt med passende tetninger (ikke vist), føyd sammen på fluidtett måte. 3 Innretningen 1 omfatter ytterligere middel for å bevege topphalvskålen 7 vertikalt bort fra bunnhalvskålen 6, i dette tilfellet slik at huset inntar en "åpen" konfigurasjon for å muliggjøre tilgang til grafittbeholderen 4.

6 Innretningen 1 omfatter videre ifølge ett aspekt ved oppfinnelsen: minst en toppinduksjonsspole 12, i det ikke-begrensende eksempelet vist med plan utstrekning, omfattende vindinger 13 formet for eksempel som en plan spiral, der induksjonsspolen er plassert vendt mot, under mellomplassering av en grafittplate 14 som er operativt tilknyttet denne, en munning av grafittbeholderen 4; minst en sideinduksjonsspole 16 plassert, ved bruk, i form av halvskåler 6, 7 koblet rundt en sidevegg 17 av grafittbeholderen 4; og en bunninduksjonsspole 18 plassert vendt mot en bunnvegg 19 av grafittbeholderen 4. 1 Innretningen 1 omfatter ytterligere: elektriske vekselstrømforsyningsmiddel, som er kjent og følgelig fremstilt skjematisk ved blokker, for å forsyne induksjonsspolene 12, 16 og 18 separat og uavhengig av hverandre; og kjølingsmiddel 21, som også er kjent og følgelig fremstilt skjematisk ved blokker, for å tilføre et kjølemiddel inne i induksjonsspolenes 12, 16 og 18 vindinger 13 som er hule ettersom de er dannet av rørformede elementer. 2 3 Ifølge ett aspekt ved oppfinnelsen er bunninduksjonsspolen 18 vertikalt bevegelig, slik at dens avstand D (figur 3) fra bunnveggen 19 kan varieres under bruk via bevegelsesmiddel, mens sideinduksjonsspolen 16 (figur og 6) inkluderer en flerhet plane vindinger 13, dvs. hver med en utstrekning i et og samme liggeplan, som er plassert koaksialt i forhold til en symmetriakse A av halvskålene 6, 7 og er plassert oppå hverandre i vertikal retning. Ifølge en kjent teknikk har grafittbeholderens 4 sidevegg 17 og bunnvegg 19 og grafittplaten 14 en slik sammensetning og dimensjoner at de danner elektromagnetiske suseptorer for henholdsvis sideindukjsonsspolen16, bunninduksjonsspolen 18 og toppinduksjonsspolen 12. Kjølingsmidlene 21 kan oppnås slik at kjølemiddelet som de anvender, og som sirkulerer i de hule vindingene 13, er en diatermisk olje istedenfor vann. På denne måten, i tilfelle en kjølemiddellekkasje inne i huset under smelteprosessen eller prosessen med retningsorientert størkning, eller i tilfelle en svikt av digelen 3 som medfører søling av det smeltede silisium 2 i bunnhalvskålen 6, består det ingen fare for eksplosjoner forårsaket av de mulige kjemiske reaksjonene mellom silisium og vann.

7 6 Ifølge hovedaspektet av oppfinnelsen omfatter bunninduksjonsspolen 18 (figur 2) en flerhet viklinger 31, 32, 33 og 34, i den viste utførelsesformen med plan utstrekning, som er anordnet ved siden av hverandre i et og samme liggeplan som er definert av en isolert bærerplate 3, som i sin tur bæres av en stamme eller nav 36 som beveges innenfor halvskålen 6 ved hjelp av bevegelsesmidlene for å variere avstanden D under bruk. 1 Dessuten er ifølge oppfinnelsen elektriske brytermidler 40, som er skjematisk fremstilt med en blokk og ikke beskrevet i detalj ettersom de er nærliggende for fagmannen en gang deres funksjon er blitt identifisert og beskrevet, forhåndsanordnet mellom viklingene til bunninduksjonsspolen 18 og det respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddelet for selektivt å forbinde viklingene med hverandre og med midlene i henhold til ulike konfigurasjoner som er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av de elektriske strømmene i de respektive viklingene plassert ved siden av hverandre, som det er for eksempel fremstilt skjematisk i figur 3. Ifølge den foretrukne utførelsesformen inkluderer bunninduksjonsspolen 18 fire viklinger, eksakt angitt ved 31, 32, 33, 34, anordnet parvis ved siden av hverandre etter et sjakkbrettskjema. 2 3 Viklingene er særlig formet som en plan spiral (figur 2) oppnådd ved å bøye et kobberrør flere ganger rundt seg selv for å danne de hule vindingene 13 og inndele bunninduksjonsspolen18 i respektive tilstøtende sektorer, skjematisk fremstilt i figur 4, der viklingene også er skjematisk fremstilt ved ringformede piler som har en retning som samsvarer med sirkulasjonsretningen av de elektriske strømmene deri, i hvilke sektorer respektive flukslinjer L av magnetfeltet generert av induksjonsspolen 18 har et lignende mønster. Brytermiddlene 40 er dermed slik at de er designet for å bestemme selektivt mellom tilstøtende sektorer et mønster av flukslinjene L som er henholdsvis tangentialt med (for eksempel figur 4a) eller normalt på (figur 4c) grenselinjene K mellom én sektor og den neste, eller igjen, blandet (figur 4b). Som sagt er kjølingsmiddlene 21 til i det minste bunninduksjonsspolen 18 designet for å forsyne dens hule vindinger 13 med en diatermisk olje, ellers med

8 7 vann, gjennom navet eller stammen 36 ved hjelp av respektive rørtilkoblingsstykker 0, for eksempel ett per vikling 31 34; særlig, begynner og ender hver vikling med en munning 60 (figur 2), forbundet via hydrauliske ledninger 61 inne i navet eller stammen 36 med rørtilkoblingene 0 som i sin tur er forbundet på en kjent måte med kjølingsmidlene Muligens kan det mellom viklingene og kjølemidlene 21 være tilveiebrakt hydraulikkbrytermiddel 70 (figur 1) for å forsyne, om nødvendig, de ulike viklingenes vindinger 13 med ulike kjølemiddelstrømmer. Basert på det som ble beskrevet ovenfor, er det klart at det er mulig ved hjelp av innretningen 1 å implementere på virksom måte en fremgangsmåte for å utføre styring av temperaturen av halvledermaterialet 2 i en prosess for retningsorientert størkning av dette materialet, der sistnevnte smeltes og deretter underkastes styrt størkning, der smeltetrinnet utføres ved å varme opp halvledermaterialet inneholdt i digelen 3 ved hjelp av grafittsuseptorer 14, 17, 19, som hver er operativt tilknyttet minst en respektiv induksjonsspole hhv. 12, 16 og 18, og som er anordnet for å omgi digelen 3. Særlig omfatter fremgangsmåten for styring av silisiumets 2 temperatur i digelen 3 trinnene med: 2 å plassere under digelen 3 en suseptor 19, i dette tilfellet dannet av en basisplate som definerer beholderens 4 bunnvegg, operativt tilknyttet en bunninduksjonsspole 18 som omfatter en flerhet viklinger med plan utstrekning og anordnet ved siden av hverandre i et og samme liggeplan; og å selektivt forbinde viklingene med hverandre og med det respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddelet for forsyning av bunninduksjonsspolen 18 i henhold til ulike konfigurasjoner, skjematisk illustrert i figur 3, som er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av den elektriske strømmen, skjematisk illustrert ved retningen av de ringformede pilene, i de respektive viklingene plassert ved siden av hverandre, som også er skjematisk fremstilt ved de ringformede pilene i figur 3. 3 Særlig er bunninduksjonsspolens 18 viklinger forbundet med hverandre slik at hver vikling definerer en sektor av induksjonsspolen 18 der

9 8 respektive flukslinjer L av det magnetiske feltet har et lignende mønster, og slik at flukslinjene L av tilstøtende sektorer har et mønster som alltid er henholdsvis tangentialt med (figur 3a) eller normalt på (figur 3c) grenselinjen K mellom én sektor og den neste. Dessuten er avstanden D mellom bunninduksjonsspolen 18 og den respektive grafittsuseptoren 19 som er tilknyttet den, ifølge fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen variert etter behov og særlig under trinnet med retningsorientert størkning, som utføres ved å avbryte den elektriske forsyningen av bunninduksjonsspolen 18 mens et kjølemiddel holdes i sirkulasjon inne i dens hule vindinger 13, og å tilnærme induksjonsspolen 18 til suseptoren 19 som er tilknyttet den, inntil den er i det vesentlige brakt i kontakt med den, der det anvendes en diatermisk olje som kjølemiddel, ellers vann, som nevnt tidligere I dette øyemed er induksjonsspolen 18 plassert innenfor et rom definert av respektive termisk isolerende elementer 0 som omgir suseptorene 14, 17, 19, mens induksjonsspolene 12 og 16 foretrukket er anordnet på utsiden av rommet og dermed med de isolerende elementene 0 plassert mellom dem og suseptorene 14, 17 som er tilknyttet dem. Ved forsøk ble det funnet ut, som fremhevet i figur 4, at det på denne måten er ekstremt enkelt mulig, og på en måte som kan implementeres flere ganger i løpet av en og samme prosess, å variere varmen som bunngrafittsuseptoren 19 tilfører digelen 3. Figur 4a viser særlig temperaturenes mønster (områdene med høyere temperatur er de lysere områdene, ifølge gråtoneskalaen anvendt i grafen i figur 4) i suseptoren 19 når konfigurasjonen av de elektriske strømmene i viklingene er den fra figur 3a. Figur 4b og 4c viser likeså fordelingen av temperaturene i suseptoren 19 som kommer frem når konfigurasjonen av de elektriske strømmene er den fra henholdsvis figur 4b og figur 4c. Dessuten er styringen av silisiumets 2 temperatur under størkning betydelig lettet på grunn av den særegne konstruksjonskonfigurasjonen av induksjonsspolen 18 og på grunn av dens bruk som varmeveksler, når den er blitt deaktivert ved å frakoble dets eget elektriske vekselstrømforsyningsmiddel.

10 9 Patentkrav 1 1. Innretning (1) for smelting og påfølgende retningsorientert størkning av et halvledermateriale (2), typisk for å oppnå multikrystallinsk silisium med "solar" renhetsgrad, omfattende minst en digel (3) for halvledermaterialet, foretrukket dannet av kvarts- eller kerammateriale, uttagbart anbrakt i en skålformet grafittbeholder (4); minst en toppinduksjonsspole (12) plassert vendt mot, under minst mellomplassering av en grafittplate (14) som er operativt tilknyttet den, en munning (1) av grafittbeholderen; minst en sideinduksjonsspole (16) plassert rundt en sidevegg (17) av grafittbeholderen; minst en bunninduksjonsspole (18) plassert vendt mot en bunnvegg (19) av grafittbeholderen; elektriske vekselstrømforsyningsmiddel () for å forsyne induksjonsspolene (12, 16, 18) separat og uavhengig av hverandre; og kjølingsmiddel (21) for å tilføre et kjølemiddel inne i respektive hule vindinger (13) av induksjonsspolene; der innretningen er karakterisert ved at, i kombinasjon: - den minst ene bunninduksjonsspolen (18) omfatter en flerhet viklinger (31 34) anordnet ved siden av hverandre i et og samme liggeplan som er definert av en isolert bærerplate (3); - elektriske brytermiddel (40), forhåndsanordnet mellom viklingene (31 34) til den minst ene bunninduksjonsspolen (18) og det respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddelet (40) for å selektivt forbinde sistnevnte og viklingene (31 34) med hverandre i henhold til ulike konfigurasjoner Innretningen ifølge krav 1, karakterisert ved at de ulike konfigurasjonene er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av de elektriske strømmene i de respektive viklingene (31 34) plassert ved siden av hverandre. 3. Innretningen ifølge krav 1 eller krav 2, karakterisert ved at den minst ene bunninduksjonsspolen (18) inkluderer fire av nevnte viklingene (31 34), anordnet parvis ved siden av hverandre etter et sjakkbrettskjema Innretningen ifølge et hvilket som helst av de foregående kravene, karakterisert ved at viklingene (31 34) anordnet ved siden av hverandre har en flat utstrekning, hver formet som en plan spiral.

11 . Innretningen ifølge et hvilket som helst av de foregående kravene, karakterisert ved at viklingene (31 34) inndeler den minst ene bunninduksjonsspolen (18) i respektive tilstøtende sektorer der respektive flukslinjer (L) av det magnetiske feltet generert av induksjonsspolen (18) har et lignende mønster; brytermidlene 40 er designet for å bestemme selektivt mellom tilstøtende sektorer et mønster av flukslinjene (L) som er henholdsvis tangentialt med eller normalt på grenselinjen (K) mellom én sektor og den neste. 6. Innretningen ifølge et hvilket som helst av de foregående kravene, karakterisert ved at den minst ene bunninduksjonsspolen (18) er vertikalt bevegelig, slik at den under bruk er i stand til å variere sin avstand (D) fra grafittbeholderens (4) bunnvegg (19) Innretningen ifølge et hvilket som helst av de foregående kravene, karakterisert ved at kjølingsmidlene (21) til den minst den bunninduksjonsspolen (18) er designet for å forsyne dens hule vindinger (13) med en diatermisk olje. 8. Innretningen ifølge et hvilket som helst av de foregående kravene, karakterisert ved at den videre omfatter et fluidtett hus () som kan åpnes, der grafittbeholderen (4) og induksjonsspolene (12, 16, 18) er anbrakt i dets indre Fremgangsmåte for å utføre styringen av temperaturen i en prosess for retningsorientert størkning av et halvledermateriale (2), hvori halvledermaterialet smeltes og deretter underkastes styrt størkning, der smeltetrinnet utføres ved å varme opp halvledermaterialet inneholdt i en digel (3) ved hjelp av grafittsuseptorer (14, 17, 19) som hver er operativt tilknyttet minst en respektiv induksjonsspole (12, 16, 18), og som er anordnet for å omgi digelen, der fremgangsmåten er karakterisert ved at den omfatter trinnene med: - å plassere under digelen (3) en nevnt suseptor (19) som er operativt tilknyttet minst en bunninduksjonsspole (18) som omfatter en flerhet viklinger (31 34) anordnet ved siden av hverandre i et og samme liggeplan; og - å selektivt forbinde viklingene (31 34) med hverandre og med respektive elektriske vekselstrømforsyningsmiddel (40) for forsyning av

12 11 bunninduksjonsspolen i henhold til ulike konfigurasjoner som er ulike hverandre med tanke på sirkulasjonsretningen av de elektriske strømmene i de respektive viklingene (31 34) plassert ved siden av hverandre.. Fremgangsmåten ifølge krav 9, karakterisert ved at den minst ene bunninduksjonsspolens (18) viklinger (31 34) er forbundet med hverandre slik at hver vikling (31 34) definerer en sektor av induksjonsspolen der respektive flukslinjer (L) av det magnetiske feltet har et lignende mønster; og slik at, i kombinasjon, flukslinjene (L) av tilstøtende sektorer har et mønster som er henholdsvis tangentialt med eller normalt på grenselinjen (K) mellom én sektor og den neste Fremgangsmåten ifølge krav 9 eller krav, karakterisert ved at avstanden (D) mellom den minst ene bunninduksjonsspolen (18) og den respektive grafittsuseptoren (19) som er tilknyttet den, er variert. 12. Fremgangsmåten ifølge et hvilket som helst av kravene 9 til 11, karakterisert ved at trinnet med styrt størkning utføres ved å avbryte den elektriske forsyningen av den minst ene bunninduksjonsspolen (18) mens et kjølemiddel holdes i sirkulasjon inne i respektive hule vindinger (13) derav, og å tilnærme induksjonsspolen (18) til suseptoren (19) som er tilknyttet den, inntil den er i det vesentlige brakt i kontakt med den Fremgangsmåten ifølge krav 12, karakterisert ved at en diatermisk olje anvendes som kjølemiddel.

13 1 NO/EP

14 2 NO/EP

15 3 NO/EP