(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

Størrelse: px
Begynne med side:

Download "(12) Oversettelse av europeisk patentskrift"

Transkript

1 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B81B 7/00 (06.01) G01P 1/02 (06.01) H01L 23/48 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets publisering av det meddelte patentet (86) Europeisk søknadsnr (86) Europeisk innleveringsdag (87) Den europeiske søknadens Publiseringsdato () Prioritet , FR, , US, P (84) Utpekte stater AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (73) Innehaver Tronic's Microsystems,, rue du Pré de l'horme, 389 Crolles, Frankrike (72) Oppfinner AZOLEY, Philippe, rue Guy Lussac,, 380 Grenoble, Frankrike GILET, Jean-Michel, Rue du Grésivaudan, F Fontaine, Frankrike NICOLAS, Stéphane, 11 Allée des Etangs, F Meylan, Frankrike (74) Fullmektig Protector Intellectual Property Consultants AS, Oscarsgate, 032 OSLO, Norge (4) Benevnelse Elektrisk kontaktkonfigurasjon av mikro-elektromekaniske komponenter og fremgangsmåte ved fremstilling derav. (6) Anførte publikasjoner EP-A US-A US-A US-A

2 Elektrisk kontaktkonfigurasjon av mikro-elektromekaniske komponenter og fremgangsmåte ved fremstilling derav. Område for oppfinnelsen Oppfinnelsen er for et område som er gjeldene for mikroelektronikkfeltet, mer spesielt en teknologi for mikroelektromekaniske systemer ((MEMS) «microelectromechanical systems»). Mer spesifikt har den som mål å gi forbedringer i de måtene som MEMS komponenter blir elektrisk tilkoplet til andre elektroniske komponenter på. Mer særskilt gjelder den en elektrisk kontaktkonfigurasjon som legger til rette for forskjellige layout for montering av MEMS komponenter. 1 Beskrivelse av tidligere teknikk Generelt sagt blir MEMS komponenter regelmessig brukt som sensorer, og gjør det mulig å omdanne fysiske mengder så som trykk, akselerasjon og kraft til elektriske signaler. En MEMS komponent inneholder derfor et bevegende innvendig parti som er tilkoplet ledende elementer, hvilket gjør det mulig å overføre signalet som således ble generert til elektriske kontakter som man kan få tilgang til utenfor komponenten. 2 En MEMS komponent blir generelt montert på eller langsmed en elektronisk komponent som blir brukt til å få output av et signal som er korrekt formattert. I praksis vil tilkopling mellom output terminalene for MEMS komponenten og input terminalene for prosesseringskomponenten kunne bli realisert på forskjellige måter. En første teknikk innebærer anvendelse av støtkontakter som er plassert mellom disse forskjellige terminalene; dette krever geometrisk justering av kontaktene i MEMS komponenten med de for prosesseringskomponenten.

3 2 Et alternativ til denne teknikken, som blir referert til som «støting», innebærer bruk av sammenkoplede ledninger, som blir loddet for det første til de elektriske kontaktene på overflaten av MEMS komponenten, og for det andre til input terminalene i prosesseringskomponenten. Disse loddeoperasjonene blir utført med anvendelse av en egnet apparatur som omfatter et hode som føyer sammen ledninger, og som beveger seg i en rett vinkel til kontaktens overflate for å kunne lodde den sammenføyde ledningen til denne. I tilfelle av MEMS komponenter, som er konstruert for å måle fysiske mengder i en gitt retning, må layout og orientering av MEMS komponenten bli valgt slik at den tar hensyn til de forholdene som sensoren blir brukt ved inne i anordningen. 1 For eksempel måler et mono-aksielt akselerometer retningen langsmed en forutbestemt akse som en funksjon av det bevegende partiet på grunn av virkningen fra en kraft som svarer til den akselerasjonen som skal bli målt. Således, avhengig av forskyvningsmodusen for det bevegende partiet av MEMS komponenten og bruk av mono-aksielle MEMS sensorer, må antall benytte detektorer være det samme som antall akselerasjonskomponenter som skal bli målt. 2 Dette betyr at to akselerasjonskomponenter i hovedplanet for anordningen blir detektert ved å bruke to mono-aksielle MEMS sensorer, som har deres deteksjonsakser anordnet i rette vinkler i det planet det gjelder. Måling av akselerasjon langs den tredje aksen, det vil si i en retning som er rettvinklet på hovedplanet for anordningen, innebærer enten bruk av en MEMS sensor som er av en annen type eller å tilpasse den samme typen av en MEMS sensor, og dreiet gjennom 90 o.

4 3 Ikke desto mindre bør det nevnes at, dersom tilkoplingen oppnås ved å bruke en teknikk med sammenføyning av ledningen, kan ikke den benyttede MEMS sensoren være strengt identisk, gitt det faktum at de elektriske kontaktene som har blitt dreiet har en konfigurasjon som ikke gjør dem tilgjengelige for loddesystemer. Dokument EP A beskriver en mikromekanisk akselerasjonssensor som har kontakter som tillater ledningssammenføyning selv om sensoren skulle være i en rett oppstående stilling. Det bevegende partiet er laget av et silisiumsubstrat og innbefatter et ledende element som er tilkoplet en ekstern elektrisk kontakt. De områdene hvor kontaktene blir dannet er konkave og parallelle med hensyn til de andre ytre flatene til sensoren. 1 2 Et annet problem som man møter med MEMS sensorer er deres overordnede dimensjoner, som kan være relativt store. Faktisk har sensorene generelt dimensjoner i substratets plan som er mye større enn deres høyde, målt i rette vinkler til substratplanet. Det er derfor opplagt at detektorene okkuperer et relativt stort overflateareal sammenlignet med deres høyde. Dokument WO 06/ beskriver en løsning på dette problemet av overordnet størrelse ved å foreslå at MEMS sensorer kan bli montert på kantene deres. Denne løsningen innebærer realisering av multi- aksielle MEMS sensorer som vil ha en rekke kontakter laget på kanten av komponenten, det vil si den laterale flaten som kommer til syne etter separasjon av de forskjellige komponentene som blir produsert på et enkelt substrat eller en lamellskive (engelsk: «wafer»). Det overflatearealet som blir tatt opp av sensoren, på det substratet som tar i mot dette, blir derfor redusert. Imidlertid er ulempen med denne teknikken at den innebærer operasjoner for å kunne oppnå metallisering på de individualiserte komponentene etter at de har blitt separert fra den lamellskiven som er felles. Det vil gjerne være åpenbart at disse forskjellige manipulerings- og metalliseringsoperasjonene er komplekse for å få implementert og vil gi en betydelig økning av slike komponenter. Videre,

5 4 hvilket er hevdet ovenfor, kan en slik sensor bare bli montert på sin kant, og vil ikke kunne ha noen annen orientering ettersom dens kontakter kun er tilgjengelige for å lage sammenkoplinger med sammenføyet ledning når sensoren blir montert på en måte som er langs kanten. Det problemet som oppfinnelsen har som mål å løse er det som gjelder produksjon av MEMS komponenter, og som kan ha følgende særtrekk: de kan bli brukt i forskjellige orienteringer og, spesielt at de har blitt dreiet gjennom 90 o, er de kompatible med konvensjonelle ledningssammenføyende teknikker og kan bli kollektivt produsert, det vil si at flere MEMS komponenter kan bli produsert på en enkelt lamellskive før den blir separert. 1 Oppsummering av oppfinnelsen Oppfinnelsen gjelder derfor en mikroelektromekanisk komponent som er fremstilt av en enkel lamellskive av et halvledermateriale. Denne komponenten omfatter konvensjonelt et innvendig bevegende parti som innbefatter ledende elementer og kontakter på sin utvendige flate. Disse kontaktene blir elektrisk tilkoplet ledende elementer, og er i stand til å ta i mot loddete sammenkoplingsledninger som selv er konstruert for å bli koplet til elektriske kontakter som blir tilveiebragt på en anordning som tar i mot komponenten. 2 I samsvar med oppfinnelsen er denne komponentene karakterisert ved at de elektriske kontaktene blir anordnet i et område som strekker seg mellom den øvre flaten av komponenten og en lateral flate. Disse kontaktene har en konkav form og har to områder som er hovedsakelig vinkelrette på hverandre og parallelle med henholdsvis den øvre flaten og den laterale flaten, og ved at begge områder er i stand til å ta i mot loddete sammenkoplede ledninger.

6 Med andre ord, oppfinnelsen tilveiebringer produksjon av kontakter som har en kompleks form, og en geometri, slik at de har en overflate som er parallelle med den for komponenten som er ment å ta i mot MEMS komponenten, uavhengig av hvorvidt den blir anordnet på en konvensjonell måte (flatt) eller dreiet gjennom 90 o. Med andre ord, de elektriske kontaktene i MEMS komponenten har alltid et parti som er parallell med kontaktene i prosesseringsutstyret slik at loddeoperasjoner for sammenføyd ledning kan bli utført ved anvendelse av konvensjonelt utstyr. I praksis blir den laterale flaten som er motsatt den som omfatter de elektriske kontaktene flat på en gunstig måte, slik at den kan plasseres stabilt på anordningen, for derved å fremheve den særpregete komponenten. 1 I praksis kan MEMS komponenten bli fremstilt ved å sette sammen forskjellige lag som er satt sammen av separate lamellskiver. I dette tilfellet blir det innvendige bevegende partiet produsert på et første lag og kan bli dekket av et andre lag som danner et deksel, i hvilket tilfelle de elektriske kontaktene på en gunstig måte vil kunne bli plassert på det dekslet det dreier seg om slik at de er tilgjengelige på den øvre flaten av komponenten. I dette tilfelle blir de elektriske kontaktene fremstilt på en første lamellskive som er forskjellig fra den som blir laget av de bevegende partiene som danner kjernen til sensoren. 2 I praksis kan de to rettvinklede områdene på den elektriske kontakten forbindes med hverandre med en flat sone som er i helning i forhold til den øvre flaten av komponenten ved en vinkel som verken er null eller rett. Med fordel har de to rettvinklede områdene på den elektriske kontakten overflater av samme størrelsesorden, det vil si overflatearealer som har et forhold som fortrinnsvis er mindre enn. Dette gjør det mulig å høste fordelene av et overflateareal som er tilstrekkelig stort til å sikre lodding ved anvendelse

7 av konvensjonelle midler mens det samtidig blir sikret at den elektriske kontakten ikke okkuperer et overstadig stort overflateareal på komponenten Således gjelder oppfinnelsen også en fremgangsmåte for å fabrikkere en slik komponent fra en lamellskive av et halvledermateriale. I dette tilfellet blir fremgangsmåten i henhold til oppfinnelsen karakterisert ved at den innebærer følgende trinn: På hver fremtidige komponent som er til stede på lamellskiven, blir det dannet minst en utsparing ved nivået for en rett kant som forbinder den øvre flaten og den laterale flaten av den fremtidige komponenten, denne utsparingen omfatter et første område som er hovedsakelig parallelt med den laterale overflaten og et andre område som er hovedsakelig parallelt med den øvre overflaten; Deretter avsetning av et metallag som kontinuerlig dekker begge disse områdene, hvor dette metallaget er elektrisk koplet til de ledende elementene innenfor komponenten; Til slutt separere de forskjellige komponentene som ble dannet på den samme lamellskiven for å individualisere dem uten at det blir behov for etterfølgende operasjoner for å danne elektriske kontakter. I praksis kan denne utsparingen med fordel bli fremstilt ved en suksesjon av følgende trinn: en våtetse prosess som har til hensikt å danne sammenføyningsflaten mellom det første og det andre området for kontaktene som er konstruert for å gi plass til de sammenkoplende ledningene, deretter en tørr etse prosess som har til hensikt å danne det andre området som er parallell med den laterale flaten av komponenten. Korte beskrivelse av tegningene Den måten som denne oppfinnelsen har blitt implementert på, og de fordelene som følger av denne, vil lettere kunne bli forstått ut fra den følgende

8 beskrivelsen av dens utførelsesformer, hvor det vil bli gjort henvisninger til de vedføyde tegningene, hvor: 7 Figurer 1 til 7 er riss i tverrsnitt av en MEMS komponent i løpet av fabrikasjonen etter hvert som de forskjellige trinnene i fremgangsmåten blir fullført. Figurer 8 og 9 er riss i tverrsnitt av den komponenten som er fremstilt i de tidligere figurene, montert på en ytterligere komponent i to forskjellige orienteringer. Figurer og 11 er riss i tverrsnitt av den komponenten som er fremstilt i de tidligere figurene, koplet til en ytterlig komponent og montert på et bærersubstrat i to forskjellige orienteringer. 1 Beskrivelse av den foretrukne utførelsesformen Figurer 1 til 7 illustrerer en spesifikk fremgangsmåte for å implementere oppfinnelsen, men viser kun de viktigste trinnene som gjelder oppfinnelsen. Nødvendige, men konvensjonelle trinn som ikke har noen direkte bæring i oppfinnelsen, blir ikke beskrevet i detalj. 2 Tilsvarende er de dimensjonene som er vist, spesielt tykkelsene, kun gitt for informasjon, og vil kunne være forskjellige fra de virkelige dimensjonene i den utstrekning at de ikke ble valgt for gjøre oppfinnelsen mer forståelig. Figur 1 viser en lamellskive 1 av silisium, som er ment å danne et deksel for en fremtidig MEMS komponent. For dette formålet omfatter denne lamellskiven, på sin øvre flate, oksidasjonslag 2 og merker 3 og 4 som er konvensjonelt anordnet for å tillate justering i linje og endelig skjære lamellskiven opp i terninger for å separere de forskjellige komponentene som blir fremstilt på den. Dette lokket 1 omfatter på sin nedre flate, passiviseringslag og utsparing 6, som blir laget etter åpning av passiviseringslag og en etseprosess benyttet til

9 å definere det hulrommet som befinner seg vertikalt over de fremtidige bevegende områdene til MEMS komponenten. 8 I et andre trinn, som er vist i figur 2, blir en delvis utsparing dannet på en øvre flate 12. Uttrykket «øvre flate» blir benyttet for å bety en flate som er parallell med hovedplanet for lamellskiven 1, og vil være plassert på utsiden av den fremtidige komponenten. 1 Denne utsparingen blir konvensjonelt fremstilt ved en våtetse prosess som gjør det mulig å definere en hellende flanke 14 og en flat en 1, og som danner bunnen i utsparingen og er parallell med øvre flate 12. Denne flaten 1 strekker seg innvendig inn i volumet på den fremtidige komponenten og fremtidige laterale flate 13, slik som er vist som en stiplet strek vertikalt under terningsmerket 3 som er vist i figur 1. Et metallag som er ment å danne spor og 21 er anordnet i et etterfølgende trinn, slik som er vist i figur 3. Disse sporene, 21 er anordnet på passiviseringslag på den nedre flaten av lamellskiven. 2 Lag blir anordnet vertikalt under flanke 14 til utsparing. Nedre flate 7 blir deretter dekket i et lag av dielektrisk materiale som er ment å isolere elektrode. Dette dielektriske laget 24, som dekker hele den nedre flaten av lamellskiven, blir deretter etset for å få frem en åpning 27 som tilveiebringer tilgang til elektrode. Et trinn for å anordne et tetningsmetall blir deretter utført; denne tetningen gjør det mulig å utføre sammenstillingen med den lamellskiven som de bevegende delene i MEMS komponenten vil ha produsert. De lagene som danner tetningsmaterialet blir deretter anordnet slik at de danner en barriere rundt utsparing 6. Parti blir plassert vertikalt under den laterale flaten til komponenten. Anordnet metall 32 blir elektrisk koplet til elektrode via et parti som strekker seg inn i åpning 27.

10 9 Deretter, i et påfølgende trinn som er vist i figur 4, blir lokk 3 som er produsert således satt sammen med en andre lamellskive 40 hvor bevegende partier 41 har blitt produsert, og som befinner seg vertikalt under utsparing 6. Lamellskive 40 innbefatter mellomliggende isolerende lag 42 som gjør det mulig å definere forskjellige elektriske tilkoplinger, spesielt ledende partier 44 som vil gjøre det mulig å plukke ut det elektriske signalet som ble generert på nivået av bevegende deler 41. Således er det ledende partiet 44 i kontakt med elektrode via støtkontakt Etter sammenstilling av de to lamellskivene, slik som er vist i figur, blir deretter et trinn utført for å forstørre utsparing. Denne forstørrelsen blir oppnådd ved tørretsing, som gjør det mulig å eliminere det partiet av substratet som er vertikalt over kontakten for elektroden for på denne måten å eksponere den sistnevnte. Lateral flanke 14 blir således strukket ut nedover mot hellende flanke 4. Tørretsing blir brukt til å produsere flanke, som er rettvinklet på øvre flate 12 av komponenten. 2 Denne flanken er ment å kunne ta i mot et område av den fremtidige særpregete kontakten, og må derfor være tilstrekkelig høy til å kunne gi anledning til å lodde de sammenføyde ledningene. Ikke desto mindre, den må ikke være overdrevent høy fordi, slik som er forklart nedenfor, den vil måtte ta i mot metall som er anordnet på en overflate, og som derfor er rettvinklet på den øvre flaten av lamellskiven. I et etterfølgende trinn, som er vist i figur 6, blir et lag med dielektrisk materiale anordnet over hele den øvre flaten av komponenten. Dette laget 6 blir etset i området for åpning 7 for dermed å oppnå tilgang til elektroden. Deretter, i et påfølgende trinn som er vist i figur 7, blir et metallag anordnet på utsparing, for på denne måten å dekke den vertikale flanken, hellende

11 flanken 4 og bunnen 8 av utsparingen. Dette danner den særpregede kontakten 60 som har et første område 62 som er parallell med den øvre flate av lamellskiven og det andre området 61 som er parallell med den fremtidige laterale flaten av komponenten. Disse to områdene er forbundet med parti 63 som dekker hellende flanke 4. 1 Dette metalliseringstrinnet kan bli utført på forskjellige måter, som sikrer at det anordnete metallet er så kompatibelt som mulig, spesielt i nærheten av vertikal flanke. Metallet kan bli anordnet ved anvendelse av en teknikk som består av fysisk dampavsetning ((PVD) «Physical Vapor Deposition») som enten kan eller ikke kan bli kombinert med en fikstur for å orientere lamellskiven, og som gjør det mulig å anordne metall på vertikal flanke. Det er således mulig å anordne metall på over hele det eksponerte overflatearealet for komponenten, hvor en maske tidligere ville ha blitt produsert ved å anordne og strukturere en film som har åpninger i de områdene hvor det anordnete metallet skal bli konservert. Det er også mulig å anordne metallet gjennom en skyggemaske med, selv om det er en risiko for at det blir større variasjon i tykkelsen på det anordnete metallet. 2 I et påfølgende trinn, som ikke er vist, blir de forskjellige komponentene adskilt fra hverandre ved å kutte lamellskiven i samsvar med de første merkene 3, 4. Det sier seg selv at fremgangsmåten som er beskrevet ovenfor kun er illustrerende, og at andre fremgangsmåter vil kunne bli implementert, som innebærer klassiske elementære trinn for å kunne oppnå en struktur som er tilsvarende og som får frem de viktige aspektene ved oppfinnelsen. Etter å ha avsluttet komponenten kan den brukes i to typer av oppsett, slik som er vist i figurer 8 og 9. Således, som er vist i figur 8, kan MEMS komponenten

12 11 70 bli plassert på en annen komponent, spesielt en prosesseringskomponent 80 der signalet, som kommer fra de mekaniske fenomenene som skjer inne i MEMS komponenten 70, blir formet og formattert. I dette tilfellet hviler MEMS komponenten 70 hovedsakelig flatt på dens innvendige flate 86 på komponent 80, hvor komponent 80 har kontakter 81 som tillater tilkopling til MEMS komponenten 70 ved nivået til kontakten 60 og, og mer presist, parti 61 som er parallell med øvre flate 12 av komponenten Motsatt, og som er vist i figur 9, kan den samme komponenten bli montert etter dreining gjennom 90 o, slik at dens øvre flate 12 er rettvinklet på den øvre flaten 83 av komponenten 81. MEMS komponent 70 hviler deretter på sin laterale flate 87 på komponent 80. Sammenkoplingsledning 84 blir koplet til, for det første for å få til en kontakt 81 for komponent 80, og for det andre til parti 62 av særpreget kontakt 60. Tilsvarende, slik som er vist i figur, kan MEMS komponenten 70 bli montert på sin nedre flate på bærersubstrat 90 i nærheten av prosesseringskomponent 80. Den blir elektrisk koplet til den med sammenkoplingsledning 84 som blir loddet, for det første til kontakt 81 av komponent 80 og for det andre til kontakt 60 og, mer presist, til parti 61 som er parallelt med øvre flate av MEMS komponent 70. Motsatt, og som er vist i figur 11, kan den samme MEMS komponenten 70 bli montert på bærersubstrat 90 på sin laterale flate eller sidekant. I dette tilfellet blir elektrisk tilkopling med prosesseringskomponent oppnådd via parti 62 av kontakt 60 som er parallell med den laterale flaten. Beskrivelsen ovenfor gjør det innlysende at oppfinnelsen har hovedfordelen av å tillate vertikal og/eller horisontal montering av en identisk MEMS komponent på en måte som er kompatibel med ledningssammenføyende teknikker. Således kan en enkelt identisk komponent, som er fremstilt med anvendelse av en enkel fabrikkeringskjede, bli brukt i to forskjellige monteringsorienteringer. Industrielle anvendelse

13 12 En foretrukket anvendelse av oppfinnelsen er å produsere sensorer som er konstruerte for å måle vektormengder, spesielt treghetsmengder. Dette innbefatter lineære eller vinkelmessige akselerasjonssensorer, så som akselerometere og hastighetsgyroer. Oppfinnelsen er også egnet for produksjon av sensorer hvor det er et krav om orientering eller posisjonering i det sensitive området. Eksempler på dette innbefatter trykksensorer som innlemmer en deformerbar membran; deres posisjonering, spesielt deres kommunikasjon med det rommet som trykket skal måles i, vil derfor kunne bli optimalisert.

14 13 1 P a t e n t k r a v 1. Mikroelektromekanisk komponent (70) fremstilt av et halvledersubstrat, omfattende et innvendig bevegende parti (41) som innbefatter ledende elementer (44) og kontakter (60) på sin utvendige overflate, hvor nevnte kontakter er elektrisk koplet til nevnte ledende elementer (44) og nevnte elektriske kontakter (60) er i stand til å ta i mot sammenkoplinger (84) av sammenføyde ledninger som selv er konstruerte for å bli koplet til elektriske kontakter (81) som er tilveiebragt på anordning (80) som tar til seg nevnte komponent (70). k a r a k t e r i s e r t v e d at elektriske kontakter (60) blir anordnet i et område som strekker seg mellom øvre flate (12) og laterale flate (13) av komponenten, hvor nevnte kontakter (60) har en konkav form og har to områder som er i stand til å ta i mot sammenkoplinger av sammenføyde ledninger, hvor nevnte områder (61, 62) er hovedsakelig rettvinklet på hverandre og parallelle med henholdsvis nevnte øvre flate (12) og nevnte laterale flate (13). 2. Komponent i henhold til krav 1, k a r a k t e r i s e r t v e d at de to rettvinklede områdene (61, 62) er forbundet med en flat sone (63) som er hellende i forhold til øvre flate (12) Komponent i henhold til krav 1, k a r a k t e r i s e r t v e d at den omfatter et parti (3) som danner et deksel med det innvendige bevegende partiet (41), hvor elektriske kontakter (60) befinner seg på nevnte deksel (3). 4. Komponent i henhold til krav 1, k a r a k t e r i s e r t v e d at de to områdene (61, 62) har overflatearealer som har et forhold på mindre enn.. Komponent i henhold til krav 1, k a r a k t e r i s e r t v e d at lateral flate (87), som er motsatt til flate (13) som tar i mot elektriske kontakter (60), hovedsakelig er flat.

15 Fremgangsmåte for å fremstille mikroelektromekaniske komponenter fra en lamellskive av et halvledermateriale, hvor hver komponent (70) omfatter et innvendig bevegende parti (41) som innbefatter ledende elementer (44), og kontakter (60) på sin utvendige flate, hvor nevnte kontakter er konstruert for å ta i mot sammenkoplinger (84) av sammenføyde ledninger som gir anledning til å kople til elektriske kontakter (81) av andre komponenter (80), k a r a k t e r i s e r t v e d at den omfatter de følgende trinnene: På hver fremtidige komponent som er til stede på lamellskiven, blir det dannet minst en utsparing () ved nivået for en rett kant som forbinder den øvre flaten (12) og en lateral flate (13) av den fremtidige komponenten, hvor nevnte utsparing () omfatter et første område (61) som er hovedsakelig parallell med den laterale overflaten (13) og et andre område (62) som er hovedsakelig parallell med den øvre overflaten (12), hvor begge områder (61, 62) er egnet til å ta i mot sammenkoplinger av sammenføyde ledninger; Anordning av et metallag som kontinuerlig dekker begge områdene (61, 62) for hver utsparing, hvor nevnte utsparing er elektrisk koplet til de ledende elementene; Separere de forskjellige komponentene (70) som ble dannet på den samme lamellskiven Fremgangsmåte i henhold til krav 6, k a r a k t e r i s e r t v e d at nevnte utsparing () blir produsert ved suksesjon av de følgende trinnene: en våtetse prosess som er ment å danne, på sammenføyningsoverflate (4) mellom det første området og det andre området () og en prosess som er ment å danne det andre området som er parallell med den laterale flate (13).

16 1/4

17 2/4

18 3/4

19 4/4

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2274977 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A01K 83/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.02.17 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2128505 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. F16L 9/12 (2006.01) F16L 3/14 (2006.01) F16L 11/127 (2006.01) F24F 13/02 (2006.01) H05F 3/02 (2006.01) Patentstyret

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 242166 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G06K 19/077 (06.01) G06K 19/06 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.02.24 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 240726 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H0K 3/36 (2006.01) H0K 3/42 (2006.01) H0K 3/46 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.03.17 (80)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 237066 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E06C 1/12 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.02.24 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 24012 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B2C 1/00 (2006.01) B2C 1/06 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.12.22 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2311023 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. G09F 17/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.02.17 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2310382 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C07D 401/12 (2006.01) A61K 31/4412 (2006.01) A61P 35/00 (2006.01) C07D 401/14 (2006.01) C07D 403/12 (2006.01)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 21181 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F16L 2/00 (2006.01) F16L 33/26 (2006.01) H01P 1/04 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.10.28

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2491293 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F17C 3/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.11.2 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 17118 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60M 1/06 (06.01) B60M 3/04 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.09.29 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift. Avviker fra Patent B1 etter innsigelse

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift. Avviker fra Patent B1 etter innsigelse (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 217368 B2 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B42D / (06.01) Patentstyret Avviker fra Patent B1 etter innsigelse (21) Oversettelse publisert.04. (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2178851 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C07D 261/08 (2006.01) A61K 31/42 (2006.01) A61P 3/06 (2006.01) C07D 413/12 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 222 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F16F 1/376 (06.01) F16F 1/373 (06.01) F16F 1/08 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.02.18 (80) Dato

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 223094 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A43B 7/32 (06.01) A43B 7/12 (06.01) A43B 7/34 (06.01) A43B 13/12 (06.01) A43B 13/41 (06.01) B29D 3/14 (.01) Patentstyret

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22473 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H01H 23/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.0.04 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2231500 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. B66F 9/00 (2006.01) B60P 1/02 (2006.01) B60P 3/022 (2006.01) B62B 3/065 (2006.01) B66D 1/00 (2006.01) B66F 9/06

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2243894 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E04F /06 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 201.01.26 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2213923 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F16L 19/02 (06.01) F16L 19/028 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.01.27 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 11438 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E04B 1/343 (06.01) B63B 29/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert.02.23 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP2563678 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2563678 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. B65D 6/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2015.01.19 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2384729 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A61G /12 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.04.08 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2096736 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H02K 1/32 (2006.01) H02K 3/24 (2006.01) H02K 9/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2011.09.0

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 213696 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B23K 9/32 (2006.01) B23K 9/28 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.04.07 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 270722 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F21V 23/02 (06.01) F21S 8/02 (06.01) F21V 23/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.03. (80) Dato

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2146836 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A47G 9/ (06.01) B26D 3/00 (06.01) B26D 3/28 (06.01) B29C 44/6 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP22342 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22342 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F2D 23/04 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.01.27 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(86) Europeisk innleveringsdag

(86) Europeisk innleveringsdag (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 297978 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A41B 9/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.03.17 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22442 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G07B 1/00 (11.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13..28 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2672278 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G01R 1/067 (2006.01) G01R 1/04 (2006.01) G01R 19/1 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 201.04.20

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2114970 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C07F 9/58 (2006.01) A61K 31/44 (2006.01) A61P 1/00 (2006.01) A61P 11/06 (2006.01) A61P 19/02 (2006.01) A61P

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift. Avviker fra Patent B1 etter innsigelse

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift. Avviker fra Patent B1 etter innsigelse (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2175588 B2 (19) NO NORGE (51) Int Cl. H04L 12/14 (2006.01) H04L 29/08 (2006.01) Patentstyret Avviker fra Patent B1 etter innsigelse (21) Oversettelse

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2184425 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. E05B 17/20 (2006.01) E05B 63/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.02.06 (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2445326 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. H05K 5/02 (2006.01) B43K 23/12 (2006.01) B43K 24/06 (2006.01) H01R 13/60 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 218466 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B67C 3/26 (06.01) B6D 47/ (06.01) B67C 7/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 12.02. (80) Dato

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2477830 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60K 1/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.12.02 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 216340 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60C 11/11 (06.01) B60C 11/03 (06.01) B60C 11/12 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 12.12.03 (80)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 230294 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F02M /00 (06.01) B60K 1/01 (06.01) F02D 19/06 (06.01) F02M 21/02 (06.01) F02M 37/00 (06.01) F02M 43/00 (06.01)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 224294 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F16K 31/44 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.04.10 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2317621 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H02G 3/12 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.02.02 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2261144 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6G 21/00 (06.01) B6G 21/08 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.07.08 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22619 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B21D 1/4 (2006.01) B21K 21/04 (2006.01) F42B /02 (2006.01) F42B /188 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 1974881 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B27B 19/00 (06.01) A61B 17/14 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.01.27 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 246764 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F2C 3/04 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.01.13 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP2770 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2770 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B23K 3/00 (06.01) C21D 6/00 (06.01) C21D 9/04 (06.01) C22C 38/00 (06.01) C22C 38/44 (06.01) Patentstyret

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2708433 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B61B 1/02 (2006.01) B61B 12/02 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 201.01.12 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 88493 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G06F 1/00 (06.01) H01L 23/34 (06.01) G06F 1/ (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.04.22 (80) Dato

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2238877 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A47J 31/08 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.03.11 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2148670 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A61K 31/137 (2006.01) A61P 25/04 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.04.02 (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 9863 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E04B 2/96 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.09.09 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 21976 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F24J 2/1 (06.01) F16L 11/22 (06.01) F16L 9/14 (06.01) F16L 9/13 (06.01) F24J 2/46 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2147876 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6G 21/20 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.02. (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2146022 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E04F /06 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.11.03 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 21847 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F24F 7/08 (06.01) F24F 11/04 (06.01) F24F 12/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.12.02 (80)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 211333 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B28B 7/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.04.08 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2141 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B63B 7/08 (2006.01) B63B 21/00 (2006.01) B63B 21/0 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.02.17

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2613860 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. B01D 15/18 (2006.01) C11B 3/10 (2006.01) C11C 1/00 (2006.01) C11C 1/08 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2011486 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A61K 9/20 (2006.01) A61K 31/44 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.09.17 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2129377 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A61K 31/451 (2006.01) A61K 9/08 (2006.01) A61P 25/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.01.23

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2636033 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. Patentstyret G09B 23/28 (2006.01) G09B 23/30 (2006.01) (21) Oversettelse publisert 2015.11.09 (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 261673 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60H 1/32 (06.01) B60H 1/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.01.12 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2216387 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C10L 5/44 (2006.01) C10L 5/14 (2006.01) C10L 5/36 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.05.06

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2272978 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C12Q 1/68 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.08.13 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2244923 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B61K 9/ (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.09.30 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2246321 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A61K 9/20 (2006.01) A61K 31/135 (2006.01) C07C 211/42 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2011.12.12

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 19724 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B63H 23/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 12.12. (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2404809 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B62D 21/02 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.07.22 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2231428 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60H 1/32 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 12.11.26 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22670 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H02G 3/04 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.07.13 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2117944 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6D 21/02 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2011.09.0 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 28644 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B60R 9/08 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.03.04 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 229688 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B29B 17/02 (06.01) D21B 1/02 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.11.18 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2082973 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6D 81/34 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.06.02 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift 1 3 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2207775 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C07D 401/12 (2006.01) A61K 31/5377 (2006.01) A61P 3/06 (2006.01) C07D 401/14 (2006.01) C07D 413/14 (2006.01)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2097141 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A62B 35/00 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.08.19 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 20789 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B61D 1/00 (06.01) B61D 17/ (06.01) B61D 23/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 12.06.04 (80) Dato

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP28769 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 28769 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F17D 1/18 (06.01) F16L 3/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.04. (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2148223 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G01V 3/ (06.01) G01V 3/24 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.03.04 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 08940 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6D 2/2 (06.01) A47G 19/34 (06.01) B6D 83/06 (06.01) G01F 11/26 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 24462 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. E0D 1/24 (06.01) E0D 13/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.03.31 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2300839 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G01R 31/34 (06.01) G01R 31/12 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 13.01.28 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2233844 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F24D 3/ (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.12.1 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2093737 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. G08B 29/06 (2006.01) G08B 29/12 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.03.10 (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2217383 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B0B 12/00 (06.01) B0B 11/00 (06.01) G01F 11/02 (06.01) G01F 1/07 (06.01) G07C 3/04 (06.01) Patentstyret (21)

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2347165 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. F16M 11/24 (2006.01) B66F 1/06 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.09.15 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP918 (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 918 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. H02J 7/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.02.03 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2498885 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A63H 1/20 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2014.09.29 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 22799 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. A61K 31/23 (06.01) A61K 31/047 (06.01) A61K 31/231 (06.01) A61K 31/232 (06.01) A61K 31/3 (06.01) A61K 31/93 (06.01)

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2497702 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B62H 3/02 (06.01) B62H /00 (06.01) B62M 6/80 (.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 1.03.16 (80) Dato

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2285808 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. C07D 471/20 (2006.01) A61K 31/407 (2006.01) A61K 31/424 (2006.01) A61K 31/437 (2006.01) A61K 31/438 (2006.01)

Detaljer

europeisk patentskrift

europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 34387 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. G06F 1/ (06.01) G06F 1/18 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 11.12.12 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2399741 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B32B 27/40 (06.01) C08J 7/04 (06.01) C09D 17/04 (06.01) D21H 19/82 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2252286 B1 (19) NO NORGE (51) Int Cl. A61K 31/357 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.01.16 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2264391 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F27D 3/1 (2006.01) C21B 7/12 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2013.11.18 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2236434 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6D 77/04 (06.01) B6D 77/06 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 11.12.19 (80) Dato for Den Europeiske

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2012637 B1 NORGE (19) NO (1) Int Cl. A47K 13/00 (2006.01) Patentstyret (4) Oversettelse publisert: 20.08.09 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 2113323 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B23B 31/02 (2006.01) B23B 31/20 (2006.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 2012.11.19 (80) Dato for Den

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 238 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. F16B 41/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.09.1 (80) Dato for Den Europeiske Patentmyndighets

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift NO/EP264344 (2) Oversettelse av europeisk patentskrift () NO/EP 264344 B (9) NO NORGE () nt Cl. B29C 6/8 (06.0) B42C /00 (06.0) B6B /4 (06.0) Patentstyret (2) Oversettelse publisert.0.26 (80) Dato for

Detaljer

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift

(12) Oversettelse av europeisk patentskrift (12) Oversettelse av europeisk patentskrift (11) NO/EP 0693 B1 (19) NO NORGE (1) Int Cl. B6D 88/02 (06.01) B6D 88/12 (06.01) B6D 90/00 (06.01) Patentstyret (21) Oversettelse publisert 14.0.0 (80) Dato

Detaljer